事業案内 [ 洗浄再生事業部 ]

洗浄再生事業部

半導体・液晶製造装置、付帯設備のパーツ洗浄、オーバーホールをはじめとして、お客様の条件に合わせたパーティクル管理を行い、高度な精密洗浄を行っております。

よりきれいに、より新しく、どんな部品も洗浄・再生します。

お預かりから納入まで厳密な工程管理体制のもと、たしかな技術であらゆる部品を地球にやさしく洗浄・再生します。

ドライ洗浄サービス ~Dry Cleaning Service~

市場が高まるLED・パワーデバイス製造装置に使用している構成パーツを、母材を傷めることのない、ドライ洗浄サービスを展開しています。
MOCVD装置の構成部品をドライ洗浄することで再利用することが可能になり、お客様のコスト削減に大きく貢献しています。

対象材質品目

●石英

●SiCコートカーボン

●SiC

●サファイア

ウエット洗浄サービス ~Wet Cleaning Service~

半導体・FPD製造装置の部品を中心に、母材・生成物の状況に応じて適切な薬剤を選定し、ウェット洗浄サービスを展開しています。
アセンブリ化した部品も対応が可能です。
イオン注入、スパッタ、CVD装置の構成部品を中心に精密洗浄を行います。
拡散炉、エッチング、リソグラフィ工程の精密洗浄も対応可能です。

対象材質品目

●石英

●セラミック

●ステンレス

●モリブデン

●タングステン等の各種金属や樹脂部品

Q・C・Dサービス ~Quality・Cost・Delivery Service~

品質(Quality)、価格(Cost)、納期(Delivery)の全てを優先としたサービスを展開しています。
今までの経験をさまざまな提案としてご提供することで、お客様のものづくりに大きく貢献しています。

サービス拠点

半導体、液晶工場のお客様を中心に国内に4つの拠点を構え、全国に向けてサービスを展開しています。
お客様のご要望に応え、あらゆる製品に対応しております。

事業一覧

  • 営業部
  • セールス事業部
  • フィールドソリューション事業部 プロダクト部
  • フィールドソリューション事業部 メンテナンス部
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